日本四日市工霰k

  三菱マテリアルの四日市工訾稀⑿‰やパソコンなど多なu品にMみzまれている半体基板の原料「多Y晶シリコン」をu造している。

　板ガラスの原料にも使うケイ石から作る粉状の「金属シリコン」を海外から入。化学反辘丹护蒲u造するが、そのHにケイ素（シリコン）などの化合物「トリクロロシラン」（液体）を蒸留塔でRり返し蒸留して不物を除去。さらに炉の中で水素ガスを加えて岱纸猡枪绦韦味嘟Y晶シリコンを作る。未反辘闻懦謦スは循hさせて再利用する。

　今回の爆kは、この循h^程で温度{整に使う峤Q器を取り外して洗筏工胱I中にk生した。可燃性ガスのk生を防ぐ措置や静莘烹の予防措置など慎重な工程が取られるといい、三重h警は作I手などに}がなかったか{べる。

　同社で多Y晶シリコンをu造している国内工訾纤娜帐肖韦撙牵保梗叮纺辘嗽O置。半体需要の加を越し、２０１０年には工瞿冥诵陇筏ぅ抓楗螗趣蛘浃筏俊Ｉb能力は年２８００トン。国内ではトクヤマ、大阪チタニウムテクノロジ`ズと共に３本の指に入る模をFる。u造が中止されるなど影が出てくれば、多Y晶シリコンの供oB荬酥д悉出る可能性がある